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半導(dǎo)體凈化工程中公用動力系統(tǒng)的能源有效利用與補償

4RTWD 螺桿熱泵項目

RTWD 螺桿熱泵機組是一臺小型冷凍機,但是與常規(guī)的冷凍機相比,其冷卻水側(cè)的出口溫度可以達到 55℃以上,此項節(jié)能改造,就是在熱水各支路回水管和冷水回水集水器之間引入2RTWD220螺桿熱泵機組。螺桿機組工作時,冷凝器產(chǎn)生 55℃的熱水,蒸發(fā)器產(chǎn)生 7℃的冷凍水,這樣不但提升了熱水系統(tǒng)的回水溫度,同時降低了冷凍水系統(tǒng)的回水溫度,實現(xiàn)既減少熱水系統(tǒng)蒸汽耗量,又可降低冷凍機制冷負荷,節(jié)約用電量的雙重節(jié)能效果。RTWD 熱泵系統(tǒng)見圖4。

RTWD220 制熱量 789 kW、制冷量 576.6 kW,制熱效率達 3.74,制冷效率達2.74,RTWD 機組2臺,每臺功率 211 kW;冷凍水泵3臺(21備),每臺功率 5.5 kW;熱水泵3臺(21備),每臺功率 7.5 kW。RTWD 熱泵系統(tǒng)的分月流量、制熱量見表4。


年節(jié)約蒸汽量按全年使用計算約為 14 284 t,同時制熱、制冷的全年節(jié)電量約為 129.96kWh。機組制熱耗電量按4個月(120 天)開 2 臺、8個月(240天)開1臺,每天運行 24 h 計算約為243.07  kWh,水泵耗電約為 29.95  kWh,綜合年耗電 143.06  kWh。節(jié)能成果,RTWD熱泵系統(tǒng)安裝有電能表和熱能表,20102月投入運行使用后,蒸汽用量和冷凍水負荷明顯降低,表5RTWD熱泵系統(tǒng)制熱量和節(jié)能量,全年累計節(jié)約蒸汽量為 15831 t,折合標煤 1488.12 t,節(jié)約蒸汽費用為397.24 萬元。表6 RTWD 熱泵制冷量和節(jié)能量,全年累計節(jié)約電量為 244.69  kWh,折合標煤988.55 t,節(jié)約電

費為 146.81萬元。表RTWD熱泵系統(tǒng)耗電量。全年 RTWD 機組及水泵累計耗電量為 314.59 kWh,折合標煤 1270.94 t,運行費用為 188.76 萬元。RTWD 熱泵系統(tǒng)總共的節(jié)約費用 323.49 萬元,節(jié)能量折合標煤為 991.61t。






送風系統(tǒng)圖.jpg

過濾系統(tǒng)立體圖,以上信息由廣西鑫華凈化工程有限公司提供

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